IQ+FLOW^®   Micro Fluidic Manifold Solutions (MEMS)  
für Massendurchfluss- und Druck-  Messung / Regelung

Allgemein

Gerätehersteller benötigen kompakten Lösungen um Gasflüsse in Ihren Systemen anzuzeigen oder zu regeln. Zuvor benötigten konventionelle Massendurchflussmesser und Regler eine Grundfläche von 1.5", wie vorher im NeSSI^TM System spezifiziert. Jetzt und in enger Zusammenarbeit mit TNO-TPD (führendes holländisches Institut angewandte Physik) hat Bronkhorst High-Tech den IQ⁺FLOW^® Massendurchflusssensor entwickelt. Durch den Einsatz der micro solid state technology (MEMS) wurde es Bronkhorst möglich den Grundfläche auf 0.75" zu reduzieren und dadurch den ultrakompakten Durchfluss und Druckregler zu realisieren.

Kundenspezifisches Design

Das IQ+FLOW^® Konzept ermöglicht folgende zusätzliche funktionelle Module:

• Durchflussmesser; typischer Bereich von 20 ml_n/min bis zu 2 l_n/min (Full Scale Werte)
• Druckmesser; typischer Bereich bis ca. 100 psi
• Regelventil
• Dreiwegeventil
• Absperrventil
• Filter
• Mixkammer

Eine Kombination dieser Module kann als kompakte Manifold-Lösung realisiert werden. Diese kundenspezifischen Systeme erfüllen die Anforderungen an Kompaktheit, Design und Spezifikationen der Anwender. Weitere können die Systeme auch in Aluminium oder Edelstahl angeboten werden, genau so für Flüssigkeits- und/oder Gasanwendungen, oder mit verschiedenen Anschlüssen. Die enorme Vielzahl an Möglichkeiten erfordern eine klare Definition der Anwendung und der Spezifikation der Systeme. Wir bitten Sie uns deshalb zu kontaktieren, damit wir IHRE Anwendung besprechen können.

Höchste Qualität, gekennzeichnet durch...

• Sehr stabiler Nullpunkt durch den, sich im thermischen Gleichgewicht befindlichen, Chip-Sensor
• Kompakte Bauart ermöglicht geringen Platzbedarf
• Kostengünstige Lösung mit: "low cost of ownership"
• Das IQ+FLOW^® Konzept reduziert die Gefahr von undichten Stellen
• "Top-mount" Module; einfach zugänglich
• Getestete "Plug and Play" Geräte
• Analoge und digitale (RS232, SPI, I²C) Kommunikation

Analytische Anwendungen

Beispiele von analytischen Anwendungen, bassierend auf dem ultra kompakten Desing mit einer Grundfläche von 0.75":

• Durchfluss- und Druck Regelung in einem GC
• Durchflussregelung im Detektor eines GC oder HPLC
• Durchflussregelung in einem FID Detektor

Prospekte

Für weitere Informationen "IQ+FLOW Micro Solid State Controllers"