Druckmessung

Der Bronkhorst High-Tech EL-PRESS Drucksensor ist eine piezoresistive Brückenschaltung auf der Oberfläche eines Siliziumchips. Dieser Chip ist auf der Rückseite ausgeformt und gibt der Chip-Innenseite so die Form einer Druckmembran, deren Dicke vom Druckbereich definiert wird. Wenn ein Druck auf den Chip wirkt verbiegt sich die Membran und der Widerstandswert der Brückenschaltung ändert sich proportional zum Druck. Die Messzelle ist vom extern wirkenden Druck durch eine dünne, empfindliche Edelstahlmembran getrennt. Der Totraum zwischen Membran und Zelle ist mit Öl gefüllt.