COMBI-FLOW
metallisch gedichtete Massendurchfluss/Druckmesser und -Regler
Allgemein
Die Instrumente der COMBI-FLOW Reihe sind gekennzeichnetz durch die Tatsache, daß es nur eine Metall auf Metalldichtung pro Modul gibt; diese Dichtung behält Ihre Dichtigkeit immer wieder bei. Sie unterscheiden sich durch eine hohe Oberflächengüte und sind folglich für die Anforderungen der Halbleiterindustrie sowie anderer Gasanwendungen die einen hohen Reinheitsgrad erfordern besonders gut verwendbar. Der Basisblock der Module ist für jede Funktion (ausgenommen der Auf-Zu-Ventilfunktion) identisch und kann in Reihe gesetzt werden, indem man Vakuumverschraubungen oder geschweißte Anschlüsse verwendet.
Eigenschaften
- Ultraclean, elektropolierte Oberflächen
- Metallisch gedichtet
- Reinraumgefertigt
- Kompakter Aufbau
- Modularbauweise
- Super stabieler Nullpunkt (keine Notwendigkeit für einen auto-null Stromkreis)
- hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit
Vorhandene Module
Durchflusssensor (F1/F2)
für Durchflüsse zwischen 0.2... 10 mln/min und 2... 100 ln/min N2-equivalent.
Drucksensor (P5/P6/P7)
Mit piezo-resistiven Drucksensor für Drücke zwischen 6... 300 mbar und 0.2... 10 bar Absolut- oder Relativdruck.
Filter (M0/M1)
aus ultra reinem PVDF bestehender Feinfilter mit 0.05 µm oder als gesinterter Filter aus rostfreiem Stahl mit 0.5, 2, 7 oder 15 µm
Regelventil (C0/C1)
im Ruhezustand geschlossen (N.C.) oder geöffnet (N.O.), für Durchfluss- oder Druckregelung mit einem maximalen KV-Wert von 4.9 x 10-2.
Maximale Temperatur 70°C
Auf/Zu Ventile (S0/S1)
pneumatisch, NO oder NC
Prospekte
Für mehr Information finden sie hier das Prospekt "COMBI-FLOW Massendurchfluss/Druckmesser und -Regler"
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