COMBI-FLOW Filter

Allgemein

Eine Konstruktionseigenschaft von thermischen Massendurchflussmessern oder Reglern ist die Empfindlichkeit gegen Verschmutzung. Um die MTBF (Mean Time Between Failure) zu steigern, ist es wichtig sicherzustellen, dass das in das Instrument einströmende Gas sauber ist. Der COMBI-FLOW Filter bietet diesen Service. Das Filterelement kann ausgetauscht werden ohne den Körper aus der Rohrleitung zu montieren.

Filtertypen

Im Allgemeinen gibt es zwei Typen:

PVDF Feinfilter
Für Anwendungen in der Halbleiterindustrie mit einer geprüften Abscheiderate von 99.9999999% aller gemessenen Partikel  bei 0,003 mm als kleinster gemessener Partikel.

Sintermetall 316L Filters
Für universelle Filtration.

Auswahl

• Für Halbleitergase und ultra Filtration wählen Sie PVDF; Einsatz kann nicht gereinigt werden.
• Für ultra Filtration wählen Sie bitte PVDF Feinfilter.
• Für andere Abweichungen wählen Sie 316L Sintermetall Filter.
• Im Fall von hohem Partikelanfall nutzen Sie bitte eine Gasvorfilter.
• Wählen Sie in der Praxis die höchste Porenfeinheit mit geringem Druckabfall;
  bevorzugterweise sollte der Druckverlust nicht höher als 250 bis 500 mbar und die
  Porosität nicht größer als 5 µm sein.

Erhältliche Modelle