IN-LINE Filter

Allgemein

Eine Konstruktionseigenschaft von thermischen Massendurchflussmessern oder Reglern ist die Empfindlichkeit gegen Verschmutzung. Um die MTBF (Mean Time Between Failure) zu steigern ist es wichtig sicherzustellen, dass das in das Instrument einströmende Gas sauber ist. Die IN-LINE Filtereinheit wird in den Eingang des Instruments geschraubt und bietet diesen Service.

Filtertypen

Im Allgemeinen gibt es zwei Typen:

PVDF Filter
Für Anwendungen in der Halbleiterindustrie mit einer geprüften Abscheiderate von 99.9999999% aller gemessenen Partikel  bei 0,003 mm als kleinster gemessener Partikel.

Sintermetall 316L Filter
Für universelle Filtration.

Auswahl

• Für Halbleitergase und ultra Filtration wählen Sie PVDF; Einsatz kann nicht gereinigt werden.
• Für andere Abweichungen wählen Sie 316L Sintermetall Filter.
• Im Fall von hohem Partikelanfall nutzen Sie bitte einen Gasvorfilter.
• 316L Sintermetall Einsätze können mit einem geeigneten Lösungsmittel gereinigt werden.
• Wählen Sie in der Praxis die höchste Porenfeinheit mit geringem Druckabfall;
  bevorzugterweise sollte der Druckverlust nicht höher als 250 bis 500 mbar und
  die Porengröße nicht größer als 5 µm sein.

Erhältliche Modelle

Prospekt

Für weitere Informationen siehe Prospekt "In-Line Filter".